在高真空與半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，設(shè)備對材料性能的要求愈發(fā)嚴(yán)苛。隨著工藝精度與良率的提升，設(shè)備制造商不僅關(guān)注材料的耐熱性與潔凈度，更將減重與結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性作為核心設(shè)計(jì)方向。輕量化陶瓷材料的出現(xiàn)，使真空裝備在速度、能效與穩(wěn)定性上實(shí)現(xiàn)質(zhì)的飛躍