半導(dǎo)體制造業(yè)正經(jīng)歷著前所未有的技術(shù)革新，而其中兩項(xiàng)看似基礎(chǔ)的組件——碳化硅吸盤(pán)和噴淋頭，正在悄然改變先進(jìn)制程的性能邊界。這些高純度陶瓷部件不僅是物理支撐結(jié)構(gòu)，更是確保晶圓處理一致性、提升良率的關(guān)鍵技術(shù)。 碳化硅吸盤(pán)：從傳統(tǒng)材料到性能飛躍 在半導(dǎo)

1. 極端的熱學(xué)性能 優(yōu)異的熱導(dǎo)率：碳化硅陶瓷的熱導(dǎo)率非常高（約120-270 W/m·K，是氧化鋁陶瓷的5-10倍）。這意味著它能迅速、均勻地傳遞熱量。 半導(dǎo)體應(yīng)用體現(xiàn)：在靜電吸盤(pán)（ESC）中，高導(dǎo)熱性確保晶圓背