在高度自動化的現(xiàn)代晶圓廠中，看似簡單的傳輸導軌系統(tǒng)實則是維持制造流程連續(xù)性的關鍵動脈。其中，精密氧化鋁陶瓷導軌憑借其獨特的材料性能組合，已成為半導體設備內(nèi)部及廠務自動化傳輸系統(tǒng)中不可或缺的關鍵部件，在晶圓、光罩及各種載具的精密定位與平穩(wěn)傳