氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專業(yè)生產(chǎn)加工企業(yè)
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1. 極端的熱學(xué)性能 優(yōu)異的熱導(dǎo)率:碳化硅陶瓷的熱導(dǎo)率非常高(約120-270 W/m·K,是氧化鋁陶瓷的5-10倍)。這意味著它能迅速、均勻地傳遞熱量。 半導(dǎo)體應(yīng)用體現(xiàn):在靜電吸盤(ESC)中,高導(dǎo)熱性確保晶圓背
Tag : 靜電吸盤,噴淋頭,腔室內(nèi)襯/穹頂,加熱器,晶圓承載環(huán),傳輸臂末端執(zhí)行器
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