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SiC陶瓷導(dǎo)軌常用于對精度、壽命或耐環(huán)境要求極高的自動化設(shè)備，例如：

半導(dǎo)體設(shè)備：晶圓搬運(yùn)、曝光機(jī)、光刻設(shè)備等，要求極高精度和耐磨性。

精密機(jī)械臂：用于高負(fù)荷、高速、長壽命的運(yùn)動部件。

高溫/高腐蝕環(huán)境自動化：如化工生產(chǎn)線、醫(yī)藥生產(chǎn)線、激光加工設(shè)備。

真空環(huán)境或潔凈室設(shè)備：低熱膨脹、低顆粒污染，適合真空或超潔凈環(huán)境。

材料特點(diǎn)

滑動摩擦系數(shù)低：可以降低潤滑需求甚至實現(xiàn)干滑動。

高剛性：承載能力大，尤其適合高速、精密的導(dǎo)軌設(shè)計。

耐疲勞：在長期往復(fù)運(yùn)動下仍保持穩(wěn)定性能

本文標(biāo)簽: 耐磨碳化硅導(dǎo)軌半導(dǎo)體設(shè)備用陶瓷導(dǎo)軌高溫耐腐蝕導(dǎo)軌

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