碳化硅噴淋頭/分配盤/勻氣盤-半導(dǎo)體PVD、CVD、刻蝕工藝的重要零部件

在半導(dǎo)體芯片制造的精密殿堂中，某些組件雖不顯眼，卻直接決定著工藝的成敗與芯片的性能。碳化硅噴淋頭（亦稱為分配盤或勻氣盤）正是這樣一種關(guān)鍵部件。它靜置在工藝反應(yīng)腔的核心，卻掌控著反應(yīng)氣體均勻分布的命脈，是物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）&n

碳化硅吸盤與噴淋頭如何重塑關(guān)鍵制程工藝

半導(dǎo)體制造業(yè)正經(jīng)歷著前所未有的技術(shù)革新，而其中兩項(xiàng)看似基礎(chǔ)的組件——碳化硅吸盤和噴淋頭，正在悄然改變先進(jìn)制程的性能邊界。這些高純度陶瓷部件不僅是物理支撐結(jié)構(gòu)，更是確保晶圓處理一致性、提升良率的關(guān)鍵技術(shù)。 碳化硅吸盤：從傳統(tǒng)材料到性

晶圓工藝的基石：碳化硅吸盤為何不可或缺

在半導(dǎo)體納米級制造中，碳化硅（SiC）吸盤是實(shí)現(xiàn)工藝精度與一致性的核心物理基礎(chǔ)。它不僅是承載晶圓的托盤，更是直接決定薄膜均勻性、刻蝕精度和光刻套準(zhǔn)率的關(guān)鍵耗材。 為何它如此重要？ 精度控制的生命線：芯片制造的溫度窗口極窄。碳化硅憑借頂尖

從材料到精度：碳化硅如何成為先進(jìn)制程檢測的“入場券”

       在追求極致精度與效率的半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，晶圓檢測設(shè)備是保障先進(jìn)制程良率的“火眼金睛”。其中，碳化硅（SiC）材料因其一系列無可匹敵的物理特性，正成為制造這類設(shè)備核心零部件的關(guān)鍵

BF33 與 EXG 玻璃材料性能對比分析

一、材料簡介 BF33（BOROFLOAT 33） 由德國 SCHOTT（肖特）公司生產(chǎn)，是一種高性能浮法硼硅玻璃。 具有低熱膨脹系數(shù)、良好的化學(xué)穩(wěn)定性和出色的光學(xué)平整度。 常用于光學(xué)、實(shí)驗(yàn)儀器、半導(dǎo)體載

氧化鋁頂板（Al?O? Top Plate）介紹及其在半導(dǎo)體設(shè)備中的應(yīng)用

一、什么是氧化鋁頂板？ 氧化鋁頂板通常由高純度 99.5%–99.99% 氧化鋁陶瓷制成，是半導(dǎo)體設(shè)備中用于等離子體反應(yīng)腔體上方的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)件。其主要功能是隔離、支撐與傳遞熱量，同時抵抗等離子體對腔體的侵蝕。 典型特性包括：

MACOR 微晶玻璃結(jié)構(gòu)件 —— 航天級精密材料解決方案

一、材料簡介   MACOR® 微晶玻璃陶瓷是一種專為高可靠性與高精度應(yīng)用設(shè)計(jì)的先進(jìn)工程材料。 它由美國康寧（Corning）開發(fā)，兼具陶瓷的高溫穩(wěn)定性與玻璃的可機(jī)加工性，可在無需燒結(jié)的條件下，直接使用CNC、車床或銑床加工成復(fù)雜結(jié)構(gòu)

晶圓檢測設(shè)備中的碳化硅零部件應(yīng)用與技術(shù)優(yōu)勢

   隨著半導(dǎo)體制造制程節(jié)點(diǎn)不斷推進(jìn)至5nm乃至2nm，晶圓檢測（Wafer Inspection）設(shè)備在晶圓品質(zhì)控制與良率提升中扮演著核心角色。檢測設(shè)備需在極高精度、超潔凈與穩(wěn)定的條件下運(yùn)行，任何微小的顆粒、熱漂移或機(jī)械振動都可能造成檢測

半導(dǎo)體行業(yè)：氧化鋁陶瓷發(fā)展的又一個里程碑！

  陶瓷的使用和人類一樣古老。傳統(tǒng)上，他們被塑造成陶器和鑄造成磚。陶瓷材料的堅(jiān)固性和耐用性使其非常適合在任何氣候或天氣條件下使用。現(xiàn)代先進(jìn)陶瓷在嚴(yán)格的實(shí)驗(yàn)室條件下被改造和設(shè)計(jì)，以生產(chǎn)各種各樣的工業(yè)產(chǎn)品，這些產(chǎn)品中最普遍的是氧化鋁陶瓷。 &nbs

半導(dǎo)體陶瓷：高純氧化鋁陶瓷

  氧化鋁陶瓷是一種高級陶瓷材料，基本上由鋁和氧兩種元素組成。氧化鋁陶瓷因多種優(yōu)異的性能而受到許多工業(yè)制造商的青睞，例如高導(dǎo)熱性、絕緣能力、耐腐蝕性、高熔點(diǎn)和極高的硬度。在有需要時，人們會優(yōu)先考慮使用氧化鋁陶瓷。 在這里，我們將討論氧化鋁陶瓷的特性、

國際半導(dǎo)體陶瓷產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢

  從全球電子陶瓷產(chǎn)業(yè)技術(shù)水平看，日本和美國處于世界的領(lǐng)先地位。其中，日本憑借其超大規(guī)模的生產(chǎn)和先進(jìn)制備技術(shù)，在世界電子陶瓷市場中具有主導(dǎo)地位，占有世界電子陶瓷市場50%以上的份額。美國在基礎(chǔ)研究和新材料開發(fā)方面力量雄厚，其注重產(chǎn)品的前沿技術(shù)和在軍事

碳化硼陶瓷防彈機(jī)理及應(yīng)用

碳化硼陶瓷分子式B4C，呈現(xiàn)黑灰色，是一種主晶相陶瓷，屬六方晶系。碳化硼陶瓷的密度不高，僅為2.52g/cm3，但是它的硬度則達(dá)到了維氏硬度49.5GPa，它的熔點(diǎn)更是達(dá)到了2450攝氏度。目前已知自然界中，碳化硼陶瓷的硬度排在第三，比它更堅(jiān)硬的還有立方氮化硼

鋁碳化硅復(fù)合材料在電子封裝上的應(yīng)用

鋁碳化硅分子式為：AlSiC（SICP/Al或Al/SiC、SiC/Al），這是一種全新的復(fù)合材料，屬于顆粒增強(qiáng)金屬基復(fù)合材料。利用鋁合金作為基體，再以一定的比例和形態(tài)以及分布布局混合而成。其中碳化硅顆粒起到增強(qiáng)體的作用，形成具有界面明顯的多組相復(fù)合材料，彌補(bǔ)

ULE超低膨脹玻璃在超穩(wěn)態(tài)激光系統(tǒng)中的應(yīng)用

超穩(wěn)態(tài)激光系統(tǒng)在精密測量、光學(xué)頻率標(biāo)準(zhǔn)及量子信息處理等領(lǐng)域具有重要應(yīng)用。為了實(shí)現(xiàn)激光頻率的超穩(wěn)態(tài)控制，激光腔體材料的熱膨脹特性至關(guān)重要。ULE（Ultra-Low Expansion）玻璃因其極低的熱膨脹系數(shù)成為理想的選擇。這次帶你了解ULE玻璃在超穩(wěn)態(tài)激光系

碳化硼陶瓷的應(yīng)用前景

前面我們講到了碳化硼陶瓷粉體的制備以及介紹了四種常見的燒結(jié)工藝，接下來我們就來看看碳化硼陶瓷主要應(yīng)用在哪些方面。我們都知道碳化硼陶瓷是一種非常理想的中子吸收材料，因此它在核能領(lǐng)域肯定是有著一席之地的。碳化硼陶瓷質(zhì)地輕、硬度高，因此也常用在防彈裝甲領(lǐng)域。碳化硼陶

怎么給氧化鋁陶瓷增韌

   氧化鋁陶瓷材料的結(jié)構(gòu)屬于剛玉型，具有自身的離子鍵合特性，因而滑移系統(tǒng)遠(yuǎn)小于金屬，導(dǎo)致其缺乏一定的韌性和可塑性，因此氧化鋁陶瓷的斷裂韌性較低，這極大地限制了氧化鋁陶瓷的廣泛應(yīng)用。氧化鋁陶瓷的韌性不夠是限制氧化鋁應(yīng)用的場景的重要因素，因此

氧化鋁陶瓷有哪些特點(diǎn)以及應(yīng)用在何處

氧化鋁陶瓷對于很多金屬加工領(lǐng)域的人來講可能還比較陌生，而對于咱們陶瓷行業(yè)的小伙伴們來說則已經(jīng)熟悉的不能再熟悉了。氧化鋁陶瓷具有比較優(yōu)異的導(dǎo)熱性能以及耐高溫性能。目前它已經(jīng)被人們廣泛的應(yīng)用在各個領(lǐng)域，它的特性也被人們研究的比較透徹了。下面我們具體來看看氧化鋁陶瓷

Ring Groove SiC Wafer Chuck—環(huán)槽碳化硅晶圓卡盤

環(huán)槽式碳化硅（Ring-Groove SiC）晶圓卡盤是面向高溫、高功率制程與極限重復(fù)性需求的一種工程化夾持方案。采用碳化硅材料并在接觸面設(shè)計(jì)環(huán)形槽道，可同時解決熱管理、受力均勻性和顆粒污染三大痛點(diǎn)，提高良率與設(shè)備穩(wěn)定性。 材料與優(yōu)勢 碳化硅（Si

肖特（SCHOTT）bk7光學(xué)玻璃

肖特（SCHOTT）bk7光學(xué)玻璃，它是一種品質(zhì)很高的硼硅酸鹽玻璃，它因優(yōu)異的光學(xué)性能和應(yīng)用而被廣受歡迎，具有出色的透光性能，低色散和卓越的機(jī)械性能，在多個工業(yè)領(lǐng)域大放光彩，鈞杰是一家專注于工業(yè)硬脆材料的實(shí)體加工廠，有多年加工經(jīng)驗(yàn)，可為您提供優(yōu)秀的硬脆材料加工

氧化鋯陶瓷在醫(yī)療行業(yè)的應(yīng)用優(yōu)勢

氧化鋯陶瓷作為一種先進(jìn)的材料，憑借其優(yōu)異的物理化學(xué)性能，已在醫(yī)療行業(yè)發(fā)揮著重要作用。本文將詳細(xì)闡述氧化鋯陶瓷在醫(yī)療行業(yè)的優(yōu)勢，特別是在實(shí)際應(yīng)用方面的表現(xiàn)。 氧化鋯陶瓷，又稱氧化鋯陶瓷，是一種以氧化鋯為主要成分的陶瓷材料。它具有高強(qiáng)度、高韌性、高耐磨性

怎么判斷氧化鋯陶瓷加工廠家的實(shí)力

   說起找供應(yīng)商，其實(shí)還是比較容易的，但是要找到合適的好的供應(yīng)商就比較的難了，隨著氧化鋯陶瓷加工和研發(fā)的不斷深入，其熱學(xué)性能和電學(xué)性能得到了大大的改善，可靠的氧化鋯陶瓷加工方能夠生產(chǎn)質(zhì)量可靠安全性高的氧化鋯陶瓷，同時為產(chǎn)品的使用提供全終身